ارزیابی تجربی یک مدل شبیه‌سازی کنده کاری برای ماشین کاری فتوشیمیایی

ماشین کاری فتوشیمیایی، می‌تواند وسعت تقاضای گسترده ای از بازار میکرو محصولات را برآورده کند. تکنولوژی‌های حکاکی فلزی، فاقد کنترل دقیق بر میکرو هندسه سطوح، هستند. حکاکی فلز، حاصل پدیده پخشیدگی و جنبشی است که اهمیت نسبی آن‌ها، به پارامترهای فرآیند بستگی دارد. تاثیر سینتیک یا جنبش شیمیایی بر روی فرآیند حکاکی و در نتیجه بر روی سطح تولید شده توسط حکاکی شیمیایی مرطوب، نیاز به بررسی کامل و گسترده تر، دارد. این مقاله یک ارزیابی تجربی از یک مدل شبیه‌سازی ۲ بعدی از حکاکی را گزارش می‌دهد که در آن نقش دینامیک محصولات واکنش دهنده، در نظر گرفته می‌شود. علاوه بر این، یک تحلیل تجربی از پارامترهای فرآیند بر روی میکرو هندسه سطوح، گزارش شده‌است.

Photochemical machining can satisfy the large demand coming from the microproducts market. The metal etching technologies lack however a precise control over the micro-geometry of surfaces. Metal etching results from diffusive and kinetic phenomena whose relative importance depends on process parameters. The effects of the chemical kinetics on the etching regime and, consequently, on the surface generated by wet-chemical etching need a thorough investigation. This paper reports an experimental assessment of a 2D simulation model of etching, where also the role of reaction products dynamics is considered. Furthermore an experimental analysis of the process parameters on micro-geometry is reported.