سنسورهای فشار خازنی برپایه MEMS، که در محیط های سخت فعالیت دارند

سیلیکون کاربید پلی کریستالی (پلی SiC) سیستمهای میکروالکترومکانیکی (‏MEMS)‏ سنسورهای فشار خازنی که در محیط‌های سخت کار می‌کنند (‏به عنوان مثال دمای بالا)‏ به دلیل پایداری الکتریکی عالی، استحکام مکانیکی و خواص مکانیکی شیمیایی SiC پیشنهاد می‌شوند. اصل این مقاله طراحی، شبیه‌سازی است. کاربرد سنسورهای فشار SiC در یک محیط خشن مانند صنایع خودروسازی، هوافضا، تجهیزات بهره‌برداری از نفت، نیروگاه هسته ای، و نیروگاه برق می باشد. حسگر، توانایی حسگری دمای بالا را تا ۴۰۰ درجه سانتی گراد نشان داد، این دستگاه به یک واکنش مشخصه خطی دست یافته و متشکل از یک دیافراگم پلی سیک گیره های لبه‌ دار دایره‌ای است که بر روی حفره مهر و موم شده بر روی بستر سیلیکون کاربید به حالت تعلیق درآمده است. حسگر در حالت لمسی حسگر فشار خازنی عمل می کند، مزایای حالت لمسی، ساختار نیرومند است که سنسور را به مقاومت در برابر محیط خشن، خروجی شبیه به حالت خطی، و حفاظت در دامنه وسیع وادار می کند که در گستره وسیعی از فشار کار می کند، و حساسیت بالاتری نسبت به عملیات شبه خطی در حالت نرمال دارد، بنابراین در این حالت برخی از تاثیرات خازن سرگر

Poly-crystalline silicon carbide (polysic) Micro-electromechanical systems (MEMS) capacitive pressure sensors operating at harsh environments (e.g. high temperature) are proposed because of SiC owing excellent electrical stability, mechanical robustness, and chemical inertness properties. The principle of this paper is, design, simulation. The application of SiC pressure sensors are in a harsh environments such as automotive industries, aerospace, oil/logging equipments, nuclear station, power station. The sensor demonstrated a high temperature sensing capability up to 400degC, the device achieves a linear characteristic response and consists of a circular clamped-edges poly-sic diaphragm suspended over sealed cavity on a silicon carbide substrate. The sensor is operating in touch mode capacitive pressure sensor, The advantages of a touch mode are the robust structure that make the sensor to withstand harsh environment, near linear output, and large over-range protection, operating in