یک سنسور خازنی CMOS چند کاناله تمام دیجیتالی

یک سنسور خازنی ۱۰۰ مرحله‌ای تمام دیجیتالی، ۱۲ کاناله توصیف شده‌است. ظرفیت لازم برای احساس شدن، یک خط RC – تاخیر را شکل می‌دهد که تاخیر آن با تاخیر یک خط مرجع RC – تاخیر مقایسه می‌شود. تفاوت تاخیرهای RC توسط یک مبدل ساده دیجیتال زمان به دیجیتال (TDC) حس می‌شود. با جبران ظرفیت پارازیتی در توان بالا، سنسور خازنی اجرا شده در تکنولوژی CMOS دیجیتال استاندارد ۰.۳۵ گرمی، وضوح سنجش ۳۰ fF را نشان می‌دهد. سنسور خازنی ۵ میکروآمپری در هر کانال تحت ولتاژ تغذیه ۳.۳ ولت مصرف می‌کند.

A full-digital 12-channel, 100-step capacitive sensor is described. The capacitance to be sensed forms an RC-delay line whose delay is compared with that of a reference RC-delay line. The difference of the RC delays is sensed by a simple full-digital time-to-digital converter (TDC). By compensating the parasitic capacitance at power up, the capacitive sensor implemented in a 0.35 mum standard digital CMOS technology shows 30fF sensing resolution. The capacitive sensor consumes 5 muA per channel under 3.3V supply voltage.